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電鋳の基礎技術と最新状況と新たな可能性

  • 日時:2017/05/30(火)  10:30~16:30
  • セミナー番号:R170530-3
  • 主催:R&D支援センター
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本セミナーの趣旨  電鋳技術は古くから利用されており、金属のコピーといわれるレコード用スタンパーから、フォトリソ技術の融合によりDVD, BDのスタンパー、メタルマスク、印刷用メッシュ等の微細加工に普及してきた。近年では、通常の機械加工では製造が困難な高精度、超微細部品にその電鋳技術と微細加工技術の組み合わせによるMEMS部品の開発が進められている。
 今回の講演では、光ディスクマスタリング(ニッケル電鋳スタンパー製造)における、トラブルシューティングを通じ、ニッケル電鋳の基礎技術から、解決に至る工程を事例とともに紹介する。また、最新電鋳事情としてニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例(薬品、装置)の一部を解説し、電鋳技術による新たな可能性を紹介する。
プログラム

1.はじめに

2.電鋳の特徴

3.光ディスクスタンパーのトラブルシューティング
 3−1.ニッケル電鋳によるスタンパー種類
 3−2.裏面突起による不良とは
 3−3.突起削減試験
  3−3−1.仕上げ電鋳条件による試験・結果
  3−3−2.アンモニア濃度管理による突起削減試験・結果
  3−3−3.光沢剤添加試験・結果
  3−3−4.フィルター見直し試験・結果
  3−3−5.ピット防止剤の選定及び濃度管理試験・結果
  3−3−6.最終決定条件によるロングランテスト結果

4.ニッケル合金による電鋳部品
 4−1.中空微細部品の製造工程
 4−2.ニッケル合金の特徴

5.ロジウムによる電鋳部品
 5−1.ロジウムの特徴
 5−2.ロジウムによるMEMS部品
 5−3.ロジウム電鋳の課題と対策
 5−4.ロジウム電鋳に適したウエファー用めっき装置

6.電鋳による新たな可能性について

7.おわりに

≪質疑応答・名刺交換≫

受講対象者電鋳、めっき関係に携わる研究者、生産技術者の方々(初心者から中級者)
講 師川上 俊介 氏
電鋳・表面改質技術研究所 代表
>講師略歴
会場江東区文化センター 3F 第1研修室 東京都江東区東陽4-11-3

MAP

受講料
(税込)
非会員:49,980円 案内会員:1名47,250円,2名49,980円(すべて税込)
学校関係者:10,800円(税込)
※昼食・資料付
※案内会員(無料)登録していただいた場合、通常1名様49,980円(税込)から
 ★1名で申込の場合、47,250円(税込)へ割引になります。
 ★2名同時申込で両名様とも会員登録された場合、計49,980円(2人目無料)で
  す。
※学校関係者価格は、企業に在籍されている研究員の方には適用されません。
備考①定員:30名
    ※ 現在、お申込み可能です。
    満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考②本セミナーの事務処理・受講券の発送等はR&D支援センターが行います。
申込み方法申込み方法、キャンセル等を以下ボタンから確認の上お申込みください。
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